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Thickness Metrology

코팅·필름 두께 측정

OCT/광간섭 기반으로 0.5~60um 범위의 코팅층·투과성 자재·미세 박막 두께를 측정합니다.

Interferometry, Confocal, Laser 기반 두께 측정 기술 이미지

공정 문제와 UniEye 접근 방식

OCT/광간섭 기반으로 0.5~60um 범위의 코팅층·투과성 자재·미세 박막 두께를 측정합니다.

  • Interferometry/OCT 기반 박막 계측
  • Confocal/Laser 센서 선택 적용
  • 비접촉 고속 연속 검사
  • 투명·불투명·단층·다층 소재 대응

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