두께 측정: Interferometry · Confocal · Laser

기술 설명

제품 특성과 공정 조건에 따라 OCT/간섭계, Confocal, Laser 센서를 선택 적용해 투명/불투명, 단층/다층, 박막/후막 대상의 두께 데이터를 비접촉·고속으로 측정합니다.

• Sub-micron~수백 μm 측정 범위
• 투과성 자재 OCT 계측
• 다층 미세박막 두께 분석
• 공정 간섭 없는 연속 검사