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Thickness Metrology

Coating and film thickness metrology

OCT and optical-interference based metrology for coating layers, transparent materials and micro thin films in the 0.5–60um range.

Interferometry, Confocal and Laser thickness metrology image

工程課題とUniEyeのアプローチ

OCT and optical-interference based metrology for coating layers, transparent materials and micro thin films in the 0.5–60um range.

  • OCT/interferometry thin-film metrology
  • Confocal/Laser sensor selection
  • Non-contact high-speed inspection
  • Transparent, opaque, single-layer and multi-layer support

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